主要用途：
本设备主要用于蓝宝石衬底、蓝宝石外延片、硅片、陶瓷片、石英晶体、碳化硅、锗片等半导体材料的精密抛光
设备原理及特点：
1、本设备为单面精密抛光设备，采用先进的机械结构和多种先进控制方法，抛光加工效率高，运行稳定。
2、整机采用PLC+触摸屏控制系统，设备参数设置和操作简单方便，系统运行稳定性高。
3、主电机采用变频调速控制，实现主机软启动、软停机，降低设备运行冲击，减少工件损伤。
4、工件研磨压力采用整体气缸加压方式，通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制，保证极高的施压精度与稳定性。
5、上压盘采用伺服马达主动驱动方式，在确保产品抛光速率的前提下保证各工位抛光加工的统一性。
6、抛光盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能,在保证抛光液发挥最大效率的同时减少抛光盘面的变形。
+8613622378685
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微信扫一扫主要技术参数：
型号 | FD-7104PA | FD-8104PA | FD-9104PA |
抛光盘规格 | 700mm | 810mm | 910mm |
工件盘直径 | 260mm | 305mm | 360mm |
工件盘压力 | 30~150kg | 30~150kg | 30~150kg |
加压方式 | 气缸加压 | 气缸加压 | 气缸加压 |
工作气压 | 0.4-0.6MPa | 0.4-0.6MPa | 0.4-0.6MPa |
工件盘转速 | 5.60rpm(max) | 5.60rpm(max) | 5.60rpm(max) |
抛光盘转速 | 0-80rpm | 100rpm(max) | 0-80rpm |
主电机功率 | 4KW/380V | 7.5KW/380V | 7.5KW/380V |
压盘电机功率 | 0.4KW/380Vx4 | 0.4KW/380Vx4 | 0.4KW/380Vx4 |
设备工位数 | 4个 | 4个 | 4个 |
设备外形尺寸 | 1200x1700x2300mm | ≈1150x1050x2200mm | ≈1250x1150x2200mm |
设备重量 | 2100KG | 2300KG | 2350KG |
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