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设备的结构设计是实现高精度平坦化的前提，核心部件与整体布局上均围绕这一目标进行优化。

一、抛光盘作为抛光作业的核心执行部件，采用 304 不锈钢材质，不仅具备出色的结构稳定性，更搭配了独立恒温冷却系统与红外温度监控系统。

恒定的盘面温度可避免因热胀冷缩导致的盘面形变，确保研磨过程中接触压力均匀，从根源上保障晶圆表面抛光一致性。

二、配备 4 组驱动加压头，各轴具备独立驱动与摇摆功能，吸盘轴摆幅可在 0-70mm 范围内调节，能够根据晶圆不同区域的抛光需求灵活调整作业轨迹，让研磨更加均匀全面。

三、晶圆装夹方面，采用无蜡吸附垫设计，既能牢固固定 4、6、8 、12寸不同规格的晶圆，又能避免传统装夹方式可能造成的表面损伤或应力残留，为平坦化加工提供稳定的基准条件。

四、抛光液循环系统选用耐酸碱 PVC 泵浦与循环桶，搭配管道一键反清洗功能，可确保抛光液供应纯净、流量稳定，避免杂质影响抛光效果，同时通过分流设计实现抛光液的回收或排放自由，兼顾环保与成本控制。